Обозначение: | ГОСТ 26239.8-84 | |||||
Статус: | действующий | |||||
Название рус.: | Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния | |||||
Название англ.: | Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination | |||||
Дата актуализации текста: | 19.01.2010 | |||||
Дата актуализации описания: | 19.01.2010 | |||||
Дата введения в действие: | 01.01.1986 | |||||
Дата издания: | 21.01.1985 | |||||
Дата последнего изменения: | 23.06.2009 | |||||
Область и условия применения: | Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом | |||||
Список изменений: | № 1 от 01.01.1991 (рег. 26.06.1990) «Срок действия продлен» | |||||
Также входит в разделы: | ОКС - Общероссийский классификатор стандартов / Электротехника / Полупроводниковые материалы | |||||
|